반도체 기판을 더 정밀하게 깎기 위한 전원 기술이 나왔다. 해당 기술 개발 국가는 세계에서 손꼽힐 만큼 드물다.
15일 한국전기연구원에 따르면 반도체 초정밀 공정에 활용하는 '바이어스용 맞춤형 펄스 전원 기술'이 개발됐다.
기존 산업계에서 사용하는 바이어스 장치는 파형이 단순해 미세 공정에서 정밀성이 떨어졌으나 맞춤형 전원은 반도체 기판을 원하는 만큼 좁고 깊게 깎을 수 있어 활용도가 높다. 바이어스는 플라즈마 내부 이온이 반도체 웨이퍼에 세게 충돌하도록 끌어당기는 전압을 주는 역할을 하는 기기다.
펄스 전원은 오랜 시간 낮은 전력으로 에너지를 충전한 뒤 높은 전력으로 순간 방전하는 기술이다. 맞춤형 바이어스는 25만분의 1초라는 시간에 수 킬로볼트(kV)에 이르는 펄스를 제어하며 초당 40만 번의 높은 주파수로 전력을 방전한다.
한국전기연구원 전기물리연구센터 장성록 박사팀은 펄스를 내보낼 때 발생하는 전력 손실을 줄이기 위해 '소프트 스위칭' 기법을 세계 최초로 도입했다. 이는 전력 손실을 78% 이상 저감시켜 전원 장치 수명 증가에 기여한다.
이번 기술은 반도체 뿐만아니라 환경, 국방, 의료 등 펄스 전원이 필요한 전원에 폭넓게 적용 가능하다.
바이어스용 맞춤형 펄스 전원 기술은 '한국핵융합에너지연구원 플라즈마장비지능화 융합연구단'과 한국전기연구원이 협업했으며 실증을 거쳤다. 이를 통해 기술 국산화와 상용화를 위한 발판을 마련했다.
장성록 한국전기연구원 박사는 "이번 기술은 공정 혁신을 가져와 반도체 성능을 크게 높일 것이고 일반적인 전자기기를 더욱 작고 빠르며 오래 가도록 만든다"며 "펄스 전원 기술 부족으로 차세대 공정 진입이 어려운 기업에게는 큰 힘이 될 것이다"고 강조했다.
◆낙동강청, 생태계 교란 동식물 퇴치 펼쳐
낙동강 고유 생태계를 위협하는 식물과 어류 퇴치 작업이 가을철을 맞아 본격화 된다.
15일 낙동강유역환경청에 따르면 생태계 교란 식물 및 어류 퇴치 작업을 이달 중순부터 약 10일간 집중적으로 펼친다. 주요 작업 구역은 합천군 덕곡면부터 부산시 사하구까지 이어지는 낙동강 약 120km 수변부다.
퇴치 대상종은 가시박, 단풍잎돼지풀이다. 해당 식물은 강한 번식력으로 고유 생태계를 빠르게 점령하고 토착 식물을 죽인다. 털이나 가시, 꽃가루 등에 의해 사람에게 상처나 알레르기를 일으키기도 한다.
가시박은 박과의 일년생 덩굴식물로 북아메리카 원산이다. 1980년대 후반에 오이 등 덩굴성 채소 접붙이기에 사용하기 위해 우리나라에 도입됐다. 단풍잎돼지풀은 북아메리카 원산의 국화과 일년생 식물이다. 잎은 세갈래 혹은 다섯갈래 손바닥 모양이고 줄기는 3m 이상 자라는데 다양한 환경에서 대규모 군락을 이뤄 분포한다.
해당 식물은 제거 작업을 벌여도 떨어진 씨앗이 재발아해 다시 자라거나 동물에 의해 종자가 새로운 지역으로 확산해 제거에 어려움을 겪는다. 이에 지속적 퇴치 작업이 요청된다. 낙동강유역환경청은 배스, 블루길 등 생태계 교란 어종도 그물을 이용해 포획하는 방식으로 퇴치 작업을 이어 나간다.
서흥원 낙동강유역환경청장은 "앞으로도 교란 생물의 적극적인 퇴치·관리를 통해 낙동강 고유 생태계를 보호하고, 생물종 다양성이 풍부해질 수 있도록 노력해 나가겠다"고 말했다.
