세계에서 두 번째로 EUV 반도체 결함 리뷰 장비 상용화에 성공한 ‘㈜이솔’이 강원 원주에 500억원 규모의 대규모 투자에 나선다.
원주시는 1일 오후 시청 투자상담실에서 ㈜이솔(대표 김병국)과 투자유치 협약(MOU)을 체결했다.
이번 협약은 총 505억원 규모의 대규모 투자다.
프로젝트는 부론일반산업단지에 소형 방사광가속기와 첨단 EUV(Extreme Ultra-Violet) 반도체 검사장비 연구·생산시설을 구축한다.
EUV는 반도체 초미세 공정(7nm 이하)에 필수적인 광원이다.
앞서 원주시는 ㈜이솔과 같은 세계적 기술력을 가진 기업의 투자유치를 위해 산업기반을 준비해 왔다.
민선 8기 산업단지 조성 프로젝트는 △부론 △신평 △태봉 △메가 데이터 △무장첨단사이언스파크 등 5곳이다.
총면적은 473만㎡(143만평) 규모다.
또 반도체 교육원과 반도체 테스트베드를 구축해 지역 내 이전·신설 반도체 업체와의 시너지 효과도 기대되고 있다.
원주시는 국·도비 1113억 원을 확보해 반도체 소모품 실증센터, 미래 차 전장부품 시스템반도체 신뢰성 검증센터, 미래청정산업 챌린지센터를 조성 중이다.
최근 반도체 산업의 불모지였던 원주에 ‘인력양성·테스트베드 구축·(산단)부지조성·기업유치’ 등 4대 전략 윤곽이 갖추고 있다.
㈜이솔은 국내에서 유일하게 EUV 반도체 결함 리뷰 장비를 개발했다.
이어 글로벌 반도체 업계와의 공동개발, 대기업과의 협업을 통해 중소벤처기업부의 ‘소부장 스타트업 100’에도 선정됐다.
특히 산업통상자원부가 이솔의 EUV 기술을 국제표준으로 제안할 정도로 국가적 신뢰도도 높다.
㈜이솔은 세계에서 두 번째인 EUV 반도체 결함 리뷰 장비 상용화에 성공했다.
또 세계 최초로 EUV 펠리클 투과측정 장비·EUV 마스크 위상 측정 장비·EUV 간섭 패터닝 장비도 개발했다.
현재 국내 특허 45건(등록 24·출원 21), 해외 특허 16건(등록 3·출원 13)을 보유하고 있다.
이 기업은 연평균 22% 성장세를 보이는 EUV 장비시장에서 글로벌 마스크 회사들에 납품 실적을 쌓으며 성장성을 입증했다.
원주 공장이 완공되면 ‘연구·생산·서비스’가 통합된 첨단 허브로 기대된다.
지역에도 큰 파급효과가 예상된다.
해당 기업의 직접투자 505억원과 약 250억원 규모의 간접투자로 협력사와 부품업체, 연구기관의 유입으로 산업 생태계 고도화도 기대된다.
지역대학·연구기관과의 협업을 통해 연구·개발(R&D) 기반이 확충되고, 계약학과 신설 등 함께 성장하는 성장 패러다임 완성도 예상된다.
이번 협약은 원주시의회의 동의를 얻은 특별지원 투자보조금 1호 사례다.
김병국 ㈜이솔 대표는 “콤팩트 방사광 가속기 상용화를 발판으로 EUV 장비와의 시너지를 극대화하며, 이를 기반으로 나노소재와 바이오산업의 혁신을 이끌 기술을 원주에 정착시켜 지역과 함께 성장하는 글로벌 성공 모델을 만들어가겠다”고 약속했다.
원강수 원주시장은 “㈜이솔의 원주 이전 투자는 전국적인 관심사로, 뛰어난 기술력과 원주의 적극적인 지원이 만나, 우리 도시는 전국에서 가장 빠르게 성장하는 경제·산업도시로 도약할 것”이라고 기대했다.
이어 “산업단지와 기업, 그리고 인재가 어우러지는 원주의 미래 발전을 만들어 나가겠다”고 덧붙였다.
